Dalam bidang pembuatan semikonduktor, ketepatan pemprosesan grafit crucible sebagai inti yang boleh digunakan secara langsung mempengaruhi kestabilan operasi peralatan. Satu kes yang tipikal pemprosesan perusahaan baru -baru ini mendedahkan arah terobosan utama dalam bidang pemprosesan ketepatan grafit semasa.
【Rekod kes pemprosesan】
Spesifikasi Produk:
Bahan: Tinggi - grafit ketumpatan (ketumpatan 1.78g/cm³)
Keperluan pemprosesan: Rongga tiga - pengilangan permukaan dimensi
Saiz produk selesai: 216 × 34 × 49mm (Toleransi ± 0.02mm)
Kekasaran permukaan: Ra kurang daripada atau sama dengan 0.8μm
Cabaran memproses:
Proses tradisional terlalu lama (4 jam untuk satu bahagian)
Debu Grafit Menyebabkan Panduan Keretapi Panduan (Kehidupan Peralatan kurang dari 3,000 jam)
Permukaan melengkung terdedah kepada kecacatan keruntuhan sudut (kadar cacat lebih besar daripada atau sama dengan 15%)
【Analisis titik sakit industri】
Dalam bidang pemprosesan bahagian grafit semikonduktor, syarikat umumnya menghadapi tiga masalah utama:
• Kata kunci kelantangan carian yang rendah dan tinggi: Penyelesaian Kawalan Debu Pemprosesan Grafit, Proses Pengilangan Grafit Ketepatan, Bahagian Grafit Teknologi Rawatan Permukaan, Penyesuaian Bahagian Grafit Semikonduktor, Sistem Perlindungan Alat Mesin Pemprosesan Grafit, Tinggi - Precision Graphite Cavity Pemprosesan
• Kos operasi dan penyelenggaraan peralatan yang tinggi: Alat mesin biasa perlu menggantikan galas gelendong setiap 3 bulan secara purata semasa pemprosesan grafit
• Kesesakan kecekapan memproses: Untuk setiap 10% peningkatan kecekapan pemprosesan tradisional, kadar kehilangan alat akan meningkat sebanyak 35%
【BishenPenyelesaian Amalan Inovatif】
Untuk kes ini, tiga teknologi teras digunakan:
Sistem pemotongan bantuan getaran ultrasonik
20kHz tinggi - frekuensi mikro - getaran
Daya pemotongan dikurangkan sebanyak 40-60%
Haba - Penyelesaian Bersepadu Pemegang Ultrasonik yang boleh dikurangkan
Runout alat kurang daripada atau sama dengan 0.005mm
Masa perubahan alat dipendekkan sebanyak 70%
Lima - sistem perlindungan habuk lapisan
Kehidupan komponen teras alat mesin dilanjutkan sebanyak 3 kali
Perbandingan Kesan Pelaksanaan:
