Di dunia pembuatan peralatan semikonduktor,Kualiti permukaan bukan hanya mengenai estetika - Ini mengenai fungsi, panjang umur, dan ketepatan. Komponen seperti wafer chucks, lensa mount, dan panduan ketepatan mesti memenuhi bukan sahaja toleransi dimensi, tetapi jugaKeperluan penamat permukaan yang melampau, selalunya di bawahRA 0.1 μm.
Mengapa Nanometer - Permukaan Permukaan Tahap Perkara
Tinggi - Peralatan semikonduktor prestasi sangat bergantung pada ketepatan hubungan dan keserasian bersih. Kekasaran permukaan melebihi ambang nanometer boleh:
Menggangguketepatan penempatan wafer
Peningkatangeseran dan pakaisemasa gerakan
SebabPenyebaran isyarat optik, mempengaruhi fotolitografi
Buatperangkap zarah, Meningkatkan risiko pencemaran
Sebagai contoh, aCincin Sokongan Peringkat WaferDengan kekasaran permukaan di atas spesifikasi boleh menyebabkan getaran mikro -, mengurangkan ketepatan kedudukan dan hasil yang merendahkan.
Cabaran Pemesinan CNC
Mencapai kemasan permukaan RA kurang daripada atau sama dengan 0.1 μm jauh melebihi proses CNC standard. Peralatan dan parameter tradisional sering meninggalkan mikro - calar, tanda pemesinan, atau tekanan sisa - semua tidak dapat diterima dalam persekitaran semikonduktor.
Pendekatan kami untuk nanometer - kualiti tahap
PadaBishen Precision, kami telah membangunkan aliran kerja pemesinan khusus untuk permukaan - aplikasi sensitif:
Penggunaanultra - alat karbida bijirin halusdengan geometri tersuai
Menggilap pasdisatukan ke dalam alat alat akhir
Sistem kawalan penyejukUntuk mengelakkan haba - mikro yang disebabkan - air mata
Koordinasi denganCmms dan putih - interferometer cahayauntuk mengesahkan kekasaran
Setiap bahagian menjalani pemeriksaan peringkat multi - bukan sahaja untuk toleransi dimensi, tetapi untuksub - konsistensi permukaan mikrondi semua pesawat kenalan.
Kes sebenar: cermin - Plat sokongan wafer selesai
Pelanggan memerlukan plat wafer aluminium dengan kemasan permukaan lebih baik daripadaRA 0.05 μm, seragam di seluruh perlawanan. Menggunakan teknik penamat kelajuan - yang dioptimumkan dan strategi penggilap tersuai, kami menyampaikan komponen melebihi spec - siap untuk EUV - Perhimpunan Bilik Tahap.
Jangan biarkan permukaan selesai melemahkan sistem anda
Ketidaksempurnaan permukaan di nanoscale secara senyap -senyap boleh menjejaskan mekanisme yang paling tepat. Sekiranya permohonan anda menuntutOptik - Gred Gred, atauprestasi geseran unggul, bercakap dengan kami. Kami akan membantu memastikan bahagian anda bertemu kedua -duanyatoleransidantekstur.
