Kajian Kes: Terobosan dalam pemprosesan substrat kaca kuarza
Objek Pemprosesan: Substrat kaca kuarza untuk fotolitografi
Spesifikasi:
Bahan: 99.99% tinggi - kaca kuarza kesucian
Ciri -ciri pemprosesan: double - sisi c0.2 chamfer + dinding sisi menegak
Keperluan permukaan: Ra <150nm (gred cermin)
Dimensi: 145 × 145 × 5.5mm ± 0.01mm
Analisis Poin Pain Pemprosesan Industri
Oleh kerana bahan habis pakai peralatan pembuatan semikonduktor, bahagian kuarza untuk fotolitografi perlu memenuhi tiga piawaian yang ketat pada masa yang sama: transmisi bahan> 99.6%, toleransi dimensi ± 10μm, dan kekasaran dinding sisi RA <150nm. Kaedah pemprosesan tradisional menggunakan proses pengisaran roda pengisaran, yang mempunyai dua masalah industri utama:
Kesesakan kecekapan: pemprosesan sekeping - tunggal sehingga 120 minit
Kecacatan permukaan: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560nm
Kehilangan alat: Kehidupan alat biasa kurang dari 50 keping
BishenInovasi Teknologi Penyelesaian
Memandangkan ciri -ciri keras dan rapuh bahan kuarza, kompositpenyelesaian pemprosesanditerima pakai:
• Sistem ukiran dan pengilangan ketepatan ultrasonik 20kHz
• Integral PCD Micro - pemotong pengilangan pisau (Edge R0.05mm)
• Proses pemotongan berlapis paksi (2μm setiap lapisan)
Perbandingan kelebihan pemprosesan yang diukur
Melalui pengesahan dan perbandingan proses, petunjuk utama telah meningkat dengan ketara:
Nilai permohonan industri
Penyelesaian ini berjaya menyelesaikan masalah pemprosesan "hambatan" dalam proses penyetempatan bahagian mesin litografi, meningkatkan kapasiti pengeluaran substrat kuarza dari 10 keping sehari hingga 50 keping, dan kadar kelayakan pemprosesan dari 63% hingga 98.5%. Mengikut pengesanan interferometer laser zeiss, nilai ketepatan permukaan pemprosesan PV adalah<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
MengenaiBishen
Bishen PrecisionMengkhususkan diri dalam pemprosesan bahagian perkakasan ketepatan, dengan bengkel 7,500 meter persegi, dan perkhidmatannya meliputi aeroangkasa, peralatan perubatan, robot perindustrian dan bidang lain. Dengan keupayaan untuk memproses bahagian struktur kompleks dan pensijilan sistem ISO, ia menyediakan pelanggan dengan penyelesaian proses penuh - dari reka bentuk dan pembangunan kepada pengeluaran besar -besaran.
