Analisis objek pemprosesan
Bahan: kaca kuarza gred optik
Ciri -ciri pemprosesan: multi - kontur kontur permukaan (termasuk 3 asimetrik)
Dimensi utama: 16 × 16 × 10mm (ralat ± 0.002mm)
Prisma kuarza ini, yang hanya saiz kuku, adalah cahaya teras - elemen panduan sistem optik tinggi - mesin litografi akhir. Permukaan melengkung 8 kompleksnya perlu mencapai 99.6% transmisi dan nanometer - ketepatan refraktif tahap, dan kekasaran permukaan secara langsung mempengaruhi resolusi pendedahan mesin litografi.
Titik sakit industri dan kesukaran teknikal
Sebuah syarikat teknologi optik menemui kesesakan dalam pemprosesan prisma kuarza ketika mempromosikan penyetempatan mesin litografi:
Tradisional Grinding kecacatan: Kekasaran selepas penggilap manual masih mencapai SA 120nm, mengakibatkan kerugian penyebaran cahaya sebanyak 15%
Equipment kebergantungan pada import : Kos satu Ultra Jepun - penggiling ketepatan melebihi 20 juta yuan, dan tempoh penghantaran selama 18 bulan
Yield Crisis: Hanya 32 dari kumpulan pertama 500 Produksi Percubaan memenuhi piawaian, dengan serius menyeret kemajuan projek
Dilema "tidak mampu membeli peralatan yang diimport, dan proses domestik tidak baik" secara langsung menyekat proses pembangunan mesin litografi bebas.
BishenPenyelesaian Penyelesaian
Sebagai tindak balas kepada keperluan ketepatan yang melampau komponen optik, pasukan teknikal Bishen telah membangunkan penyelidikan dan pembangunan yang inovatif:
1. Ultrasonik menegak lima - sistem pemprosesan hubungan paksi
2. 0.1 μm - pampasan dinamik tahap, kawalan tepat alat mesin kaitan 18 paksi
3. Memadankan Permukaan Asimetrik CAD/CAM Pengaturcaraan Pintar
4. Tinggi - Kekerapan Ultrasonic dibantu Teknologi Pengisaran
5. 40 KHz getaran ultrasonik mengurangkan 52% daripada tekanan pemotongan dan mengelakkan mikrokrak kuarza
6. Diamond Micro - Serbuk Penggiling Roda Hidup dilanjutkan dengan 3 kali
Lompatan prestasi yang diukur sebenar
Tiga kejayaan utama telah dicapai dalam pengeluaran besar -besaran jenis prisma mesin litografi domestik tertentu:
1. kualiti permukaan : kekasaran sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Pemprosesan Kecekapan : Waktu kerja tunggal - dikompresi dari 14 jam hingga 3.5 jam
3. Kawalan Kos: Pelaburan Peralatan hanya 1/5 daripada penyelesaian yang diimport
Kadar hasil kumpulan pertama sebanyak 3,000 produk melonjak kepada 98.7%, membantu pelanggan melengkapkan pemasangan prototaip 6 bulan lebih awal daripada jadual
AboutBishen
BishenTeknologi Precision (ditubuhkan pada tahun 2017) memberi tumpuan kepada pemecahan melalui teknologi "hambatan" dalam bidang pembuatan akhir -. Ia telah membina kilang digital 7,500 meter persegi di Dongguan, dilengkapi dengan kelompok peralatan yang diimport seperti lima - pusat pemesinan hubungan paksi dan ultra - penggiling optik ketepatan. Dengan menggunakan teknologi inovatif seperti pemesinan ultrasonik dan pemotongan kriogenik kepada peralatan semikonduktor, instrumen optoelektronik dan bidang lain, ia telah menyediakan penyelesaian pemprosesan bahagian utama untuk lebih daripada 20 syarikat rantaian industri mesin litografi domestik, dan telah menyampaikan lebih daripada 500,000 komponen optik ketepatan.
