Latar Belakang Kes: "Seribu - masalah lubang" dalam pembuatan cip
Dalam bidang pemprosesan cip semikonduktor, kaca kuarza digunakan secara meluas dalam pembuatan cakera semburan dalam proses etsa kerana kesuciannya yang tinggi, rintangan suhu tinggi dan kestabilan kimia. Keperluan pemprosesan pengeluar peralatan cip terkemuka untuk cakera semburan kuarza sangat mewakili:
Bahan: Kaca kuarza (kekerasan HV700)
Ciri -ciri teras: Diameter 0.5mm, 5mm dalam mikro - lubang (kedalaman - ke - nisbah diameter 10: 1), 4,996 lubang perlu diproses secara merata pada cakera dengan diameter 280mm
Keperluan ketepatan: Lubang bulat kurang daripada atau sama dengan ± 5μm, kesilapan kedudukan<0.02mm, hole edge collapse ≤0.15mm
Pengilang pada asalnya menggunakan teknologi penggerudian tradisional, tetapi menghadapi dua masalah maut:
Kesesakan kecekapan: Pemprosesan lubang tunggal mengambil masa 270 saat, dan pemprosesan cakera tunggal memerlukan operasi berterusan selama 34 hari;
Hasil tidak terkawal: Keruntuhan kelebihan lubang mencapai 0.4mm, mengakibatkan lebih daripada 30% daripada bahan kerja retak dan dibatalkan kerana kepekatan tekanan.
Bishen Solutions: Teknologi ultrasonik menumbangkan kraf tradisional
Memandangkan ciri -ciri rapuh dan keras kaca kuarza, pasukan Bishen R & D mencadangkan ukiran ketepatan ultrasonik dan sistem penggilingan, yang memecahkan tiga inovasi teknikal:
① tinggi - kekerapan teknologi pengurangan getaran ultrasonik
Getaran ultrasonik 20kHz memendekkan masa hubungan antara bit gerudi dan bahan ke microseconds, mengurangkan daya pemotongan sebanyak 65%, dan menindas keruntuhan tepi dari akar.
② Penyesuaian gerudi PCD integral
Bit gerudi diperbuat daripada lembaran komposit berlian (PCD) dalam satu bahagian, dengan ketepatan arka canggih ± 2μm, dan sistem pembetulan paksi 0.01 darjah untuk memastikan kelebihan lubang dalam 5mm.
③ Alat kedudukan penjerapan vakum
Platform terapung udara dengan kawalan bebas pelbagai kawasan menstabilkan kesilapan kebosanan cakera kuarza 280mm dalam 0.005mm, menghapuskan sisihan kedudukan penggerudian.
Pemprosesan Data Perbandingan: Lompat Double dalam Kecekapan dan Ketepatan
Penyelesaian ini telah disahkan oleh pelanggan dalam pengeluaran besar -besaran selama tiga bulan berturut -turut, dan hasil plat semburan telah meningkat dari 67% hingga 98%, menjimatkan pengeluar lebih daripada 8 juta yuan dalam kos kerugian kuarza setiap tahun.
Inspirasi industri: Titik perubahan teknikal pemesinan ketepatan
Mikro kaca kuarza - pemprosesan lubang sekali adalah pautan "hambatan" yang menyekat peningkatan peralatan cip. Melalui aplikasi kejuruteraan teknologi ultrasonik, Bishen tidak hanya menyelesaikan masalah mikro - pemprosesan lubang dengan kedalaman - ke - nisbah diameter 10: Tinggi - Kawalan getaran frekuensi , yang mempunyai nilai sejagat untuk ultra - pemesinan ketepatan dalam industri seperti seramik dan kaca optik.
About Bishen Precision
BishenPrecision memberi tumpuan kepada pembuatan bahagian logam ketepatan -. Bergantung pada asas pengeluaran moden 7,500 meter persegi, ia menyediakan satu penyelesaian berhenti - untuk bahagian struktur kompleks dalam bidang aeroangkasa, jentera perubatan dan robotik. Syarikat mengambil "ketepatan yang melampau dan penghantaran yang boleh dipercayai" sebagai daya saing terasnya, dan mempunyai keupayaan untuk menyediakan perkhidmatan proses penuh - dari pengubahsuaian bahan, multi - pemprosesan kaitan paksi ke micron - ujian tahap. Ia memegang sistem pengurusan kualiti peranti ISO 13485, pensijilan aeroangkasa AS9100 dan kelayakan lain, dan telah menyampaikan lebih daripada 200,000 bahagian utama, membantu pelanggan memecahkan sempadan pembuatan ketepatan.
